Zunächst unterscheiden wir zwischen Ebenheit und Nivellierung.
In der Matehmatik ist die Ebenheit die Angabe über die Formtoleranz, in der sich eine erzeugte ebene Fläche (z. B. durch Fräsen oder Schleifen) befinden muss. Nivelliert ist diese Fläche, wenn sie sich im Mittel orthogonal (rechtwinklig) zur Schwerkraft befindet. Umgangssprachlich befindet sich die nivellierte Fläche "im Wasser".
Wenn eine Fläche nivelliert ist, ist sie also auch zwangsläufig sehr eben.
Um die Ebenheit einer Fläche zu messen, benötigen wir eine Referenzebene. Um die Nivellierung zu messen, benötigen wir eine Referenzebene orthogonal zur Schwerkraft.
Normalerweise messen wir eine Matrix aus Einzelpunkten und interpolieren zwischen diesen diskreten Punkten.