
Allgemeine Informationen zur Interferometrie
Laser Interferometer sind heutzutage die Referenz zur Messung einer Positionierung. 1nm ist (theoretisch) möglich.
Durch die extreme Auflösung und Genauigkeit ist das Interferometer die beste Möglichkeit Entfernungsänderungen im Genauigkeitsbereich
Neben der Positionsmessung können auch andere Messungen mit dem Interferometer durchgeführt werden:
- Geradheits - Messung
- Kombinierte Geradheits - und Positions - Messung (3D)
- Geradheits - Messung via Kollimation
- Ebenheits - Messung
- Schwingungsmessung bis über 1000Hz
Prinzipbedingt eignet sich das Interferometer optimal für die Positionsmessung. Die Geradheitsmessungen lassen sich mit anderen Messtechniken heutzutage einfacher und besser durchführen.