Messung von rechten Winkeln

Das System kann in der Werkzeugmaschinen-Industrie über 3D Drucker, zur Kalibrierung von CMM’s, dem Einsatz bei der Halbleiter-Fertigung oder zum Laboreinsatz benutzt werden. Durch die 2-Frequenz Interferometrie werden auch Messungen im Nanometer-Bereich möglich.

Richten Sie den µLine entlang der Referenz-Achse aus und vermessen Sie die Geradheit der ersten Achse. Nun kann das 3D Etalon im Strahlengang montiert und über seine Einstellschraube ausgerichtet werden. Diese Ausrichtung kann binnen einer Minute erledigt werden. Befestigen Sie nun den Reflektor an der zweiten Achse und richten Sie ihn direkt über oder neben dem 3D Etalon aus. Bewegen Sie nun die Achse bis zum Ende und justieren Sie das Prisma mit der zweiten Einstellschraube bis der Strahl wieder im Reflektor ist. Nun kann die zweite Achse gemessen werden. Das Ergebnis sind nun die Geradheiten der beiden Achsen und die Rechtwinkligkeit zwischen den Achsen. Und das binnen 20 min!